Boîte à gants sur mesure pour la préparation de semi-conducteurs
Soutenir vos projets depuis la recherche en laboratoire jusqu'aux lignes de production industrielles.
Jacomex conçoit des boîtes à gants sur mesure pour l’industrie des semi-conducteurs. Contrôle précis de l’atmosphère (O2, H2O, particules) pour la préparation de wafers et le dépôt de couches minces sans contamination.
Les enceintes de confinement et les systèmes de purification de Jacomex permettent d’obtenir une atmosphère purifiée et exempte de particules, préservant l’intégrité des wafers et des matériaux utilisés dans la fabrication de puces électroniques (dépôts d’or, d’aluminium, de cuivre et d’alliages modifiés).
Notre technologie est conçue pour éliminer les traces (<1ppm) d’oxygène (O2) et d’humidité (H2O), tout en garantissant un environnement sans particules, condition indispensable à chaque étape sensible du process.
Nos partenariats dans l’industrie, avec des fabricants de machines de dépôt sous vide et des acteurs du secteur, offrent à nos clients des solutions intégrées pour l’ensemble du cycle de préparation, du traitement et du stockage des échantillons.
Main applications
- Préparation et manipulation de wafers
- Dépôt de couches minces et revêtements
- Transfert et connexion vers les stations de caractérisation
- Interfaçage avec les lignes de vide
- Stockage sous atmosphère inerte
- Quantum compuring
Une conception respectueuse de l’environnement – Des économies d’énergie pour tous !
La préservation de notre environnement ne doit pas être un compromis. C’est pourquoi le mode économie d’énergie est inclus et proposé gratuitement sur toutes les boîtes à gants Jacomex.
- Consommation standard = 198 Watts
- Mode économie d’énergie = jusqu’à 31 watts
Configuration standard
Solutions personnalisées – Installations industrielles adaptées
- Enceintes de confinement de pointe adaptées au process de fabrication de semi-conducteurs
- Intégration de lignes de vide et connexion directe aux équipements de dépôt (PVD, ALD, ALE)
- Sas d’introduction déconnectables pour un gain de place et de temps (classe 1 selon norme ISO10648-2)
- Intégration de stations de transfert, spin coaters et systèmes de dépôt slot-die
- Environnement ISO 5 disponible : flux unidirectionnels, plafonds soufflants
- Filtration spéciale pour une pureté de niveau microélectronique
- Ergonomie, évaluation des risques
Gamme de boîtes à gants purifiées pour la production de semi-conducteurs
- Atmosphère contrôlée <1ppm O2 et H2O pour préserver l’intégrité des wafers et éviter toute contamination des échantillons
- Postes de travail modulaires à 2, 3 ou 4 gants, adaptés à la taille de votre ligne de production
- Options individuelles ou en face à face, pour s’intégrer à votre configuration d’atelier ou de salle blanche
- Fonctionnement au gaz pur (argon, azote, hélium), garantissant un environnement sans particules
- Antichambres à vide chauffées, Ø150mm – Ø400mm, pour un transfert des wafers sans rupture d’atmosphère
- IHM conviviale, traçabilité des utilisateurs et enregistrement des données pendant 2 mois
- Peu d’entretien pour un coût total de possession (TCO) réduit
- Garantie de 3 ans
Nos recommandations pour semi-conducteurs
Gbox
Boîte à gants modulaire sous atmosphère contrôlée, balayage de gaz ou boîte à gants climatique.
PureMod
Un poste de travail modulaire offrant des caractéristiques améliorées pour des demandes plus spécialisées. <1ppm O2 et H2O
PureEvo
Un système de boite à gants entièrement personnalisable répondant aux attentes les plus élevées, conçu pour intégrer des processus complexes et des systèmes tiers. <1ppm O2 et H2O Fonctionnement en surpression ou en dépression
Équipements et caractéristiques
Nos recommandations pour les semi-conducteurs
Réalisations
Exemples de projets Jacomex pour semi-conducteurs
Aucune réalisation trouvée dans cette catégorie.
Certifications
Normes de qualité ISO et européennes
Jacomex est fière de respecter les normes industrielles les plus élevées, avec des certifications telles que ISO 9001:2015 pour la gestion de la qualité et ISO 10648-2 pour les enceintes de confinement et les boîtes à gants. Nous garantissons en plus la conformité à la norme EN 60439-1, une norme d'autocertification CE, qui reflète notre engagement en matière de sécurité et de fiabilité.
ISO 9001:2015
Systèmes de gestion de la qualité
Certification and CE Marking
Respect des exigences réglementaires de l'Union européenne
ISO 10648-2
Norme d'étanchéité pour les systèmes de confinement
ISO 3834
Système de gestion de la qualité du soudage pour les procédés TIG et YAG