Pompe à vide primaire sèche

Pompe à vide primaire sèche

Pompe à vide primaire sèche pour boîtes à gants et isolateurs

La qualité du pompage sur une boîte à gants est importante. C’est d’elle aussi dont dépend la stabilité de la pureté en oxygène et humidité dans une boîte à gants. En effet, la pompe à vide est utilisée pour évacuer le gaz ou l’air des sas de transfert montés sur des boîtes à gants avec unités de purification.

Pour des applications spécifiques, semi-conducteurs en salle blanche, dépôts de couches minces par exemple, où les traces d’hydrocarbures sont à proscrire, il est nécessaire de changer de technologie et de procéder à des cycles de vide des sas au moyen d’une pompe sèche. Son coût supérieur à celui d’une pompe à palettes est contrebalancé par des avantages indéniables : maintenance réduite et faible coût d’exploitation, durée de vie importante et bas niveau de bruit. Les pompes sèches conviennent de fait pour toutes les technologies avancées d’aujourd’hui. Après échanges d’informations, nous sélectionnons pour vous la marque et le modèle approprié à vos travaux.

Applications

Données techniques – Informations

Les données techniques :

Pompes sèches sans huile.
Débits suivant modèles : 6 m3/h – 12 m3/h – 18 m3/h
P. limite suivant modèles : 7.10-2 hPa – 5.10-2 hPa – 3.10-2 hPa

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