Evaporateurs TFD (sous vide) pour boîtes à gants
Vue d'ensemble
Evaporation sous vide pour boîtes à gants
Description
Jacomex fournit, en partenariat avec les meilleurs fabricants spécialistes des techniques d’évaporation et de dépôt de couches minces, des systèmes avec bâti d’évaporation. Ces systèmes sont utilisés en électronique et permettent le dépôt par couches nano- et micrométriques de matériaux organiques ou métalliques.
Les polymères et matériaux organiques, le graphène, les matériaux 2D, les perovskites sont fréquemment utilisés comme couches actives de dispositifs électroniques en électronique organique, optoélectronique, électronique imprimée, électronique flexible et nanosciences en général. La mise en œuvre des technologies de couches minces appliquées à ces composants s’effectue en boîtes à gants sous atmosphère contrôlée avec un taux d’oxygène et d’humidité inférieur à 1 ppm.
Spécifications techniques - Informations
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Le système de PVD comprend (selon configuration) : une enceinte à vide inox avec une porte de chargement matériaux/maintenance et une porte process pour chargement des substrats depuis la boîte à gants, plusieurs sources d’évaporation sous vide, un système de pompage primaire et une pompe secondaire turbomoléculaire, un porte-substrat rotatif motorisé, un contrôleur d’épaisseur, une armoire de puissance avec système de pilotage et automatismes.
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Les bâtis d’évaporation thermique sous vide par effet Joule intégrés à une boite à gants sous atmosphère contrôlée trouvent une utilité dans les applications de dépôt de couches minces de matériaux métalliques (Au, Pt, Ti, Cr, Al, Li…) et oxydes (SiO2, HfO2, Al2O3, …).
Ces évaporateurs thermiques sont largement utilisés pour la métallisation, par exemple pour les cellules photovoltaïques et les détecteurs, pour le dépôt d’électrodes (contacts ohmiques), par exemple pour les batteries et l’électronique organique OLED et les couches minces réfractaires et les couches optiques. N’hésitez pas à nous faire part de votre projet également pour l’évaporation de matériaux organiques, la déposition par d’autres procédés et les techniques de caractérisation.
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