Spincoater pour boite à gants
Spincoater
Fonctions :
- Dépôt d’une couche mince par enduction centrifuge sur la surface plane d’un substrat ou d’un wafer.
Modèles proposés
- Spin 150 version encastrable ou de paillasse pour wafer jusqu’à 160mm et substrat jusqu’à 4ʺ x 4ʺ.
- Spin 200 version encastrable ou de paillasse pour wafer jusqu’à 260mm et substrat jusqu’à 6ʺ x 6ʺ.
- Autres sur demande.
Données techniques
Données techniques d’un spincoater pour boîtes à gants :
Nous pouvons vous conseiller deux types d’intégration en fonction de votre priorité : une version on-deck qui viendra se placer dans un espace de travail plutôt restreint et une version in-deck, fixe, mais laissant plus de place à l’ergonomie de travail. |
L’utilisation intense de solvants nécessite des choix technique |
Compatibilité
Cet équipement peut être installé sur les modèles de boîtes à gants suivants
Boîte à gants modulable avec unité de purification autonome < 1PPM H2O – O2
Boîte à gants purifiée compacte < 1PPM H2O – O2 destinée à la recherche et l’industrie
Boîte à gants modulable en balayage de gaz. Simple d’utilisation, faible maintenance.
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