Probestation (station de test sous pointe)
Une station sous pointe (probestation en anglais) est un outil d’interface, utilisé dans le secteur des semi-conducteurs, permettant de mesurer les caractéristiques électriques de composants électroniques sur des substrats, qu’il s’agisse d’un verre, d’un wafer, d’un MEMS… La station nécessite la combinaison d’un microscope et de micropositionneurs afin de placer de manière précise les aiguilles sur la surface du dispositif à tester.
Applications
Données techniques
Données techniques de la Probestation pour les boîtes à gants :
Suivant le matériel proposé par le partenaire OEM, une solution appropriée permet de conserver les caractéristiques originales de l’instrument et les performances de la boîte à gants. |
Certains modèles offrent des solutions hautes performances pour des mesures avec contrôle de température et/ou pression. La station sous pointe, instrument de caractérisation précis, est utilisé en boîtes à gants sous atmosphère contrôlée pour effectuer différentes mesures telle que conductivité, tenue en tension, courant de fuite…
Elle est associée à une instrumentation externe (traceur de courbe, unité de source et de mesure (SMU). Néanmoins son intégration demande une certaine vigilance quant à son encombrement et aux risques de vibrations, dont il est important de s’affranchir.
Compatibilité
Cet équipement peut être installé sur les modèles de boîtes à gants suivants
Boîte à gants modulable en balayage de gaz. Simple d’utilisation, faible maintenance.
Boîte à gants conçue pour des process sous atmosphère contrôlée < 1PPM H2O – O2
Boîte à gants conçue pour la recherche et l’Industrie pour toutes applications < 1PPM H2O – O2
