Dépôt de couches atomiques par ALD

Dépôt de couches atomiques par ALD

L’ALD (Atomic Layer Deposition) ou dépôt de couche atomique est une technique appliquée pour le dépôt de couche mince. Le principe consiste à exposer une surface successivement à différents précurseurs chimiques afin d’obtenir des couches ultra-minces. Il est principalement utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs.

Qu’est-ce que le dépôt de couche atomique (ALD) ?

L’ALD ou la technique de dépôt de couche atomique, qui est une sous-classe du dépôt chimique en phase vapeur, se base sur l’utilisation d’un processus chimique en phase gazeuse. La plupart des réactions ALD ont recours à deux produits chimiques : les précurseurs ou encore les réactifs. Ces derniers réagissent un par un, de façon séquentielle, sur la surface d’un matériau. Un film mince est déposé lentement par exposition répétitive à des réactifs séparés.

Lors du dépôt de la couche atomique, la surface d’un film, qui est développé sur un substrat, est exposée aux réactifs. Ces précurseurs sont insérés, sans chevauchement, sous forme de série d’impulsions séquentielles. Les molécules réactives réagissent avec la surface dans chacune des impulsions de manière à ce que la réaction s’achève à la consommation de tous les sites réactifs de la surface.

La nature de l’interaction surface-précurseur détermine la quantité maximale de matière déposée après une exposition à l’ensemble des précurseurs, c’est un cycle dit ALD. Il est possible de faire croître des matériaux de manière uniforme, avec une grande précision, sur des substrats volumineux et complexes grâce à la variation du nombre de cycles.

Le dépôt de couche moléculaire, MLD, est la technique sœur de l’ALD. Celle-ci est appliquée lorsque des précurseurs organiques sont utilisés. La combinaison des deux techniques, ALD/MLD, permet la réalisation de films hybrides, hautement purs et conformes pour un grand nombre d’applications.

Boîtes à gants pour l’électronique organique

Chez Jacomex, en tant que leader dans la fabrication de solutions de confinement, nous sommes fiers de proposer des équipements avancés pour le dépôt de couches atomiques (ALD). Notre équipement de pointe est spécialement conçu pour une intégration fluide avec une boîte à gants, offrant ainsi une solution optimale pour l’électronique organique.

Ce système est capable de déposer une variété de matériaux, tels que Nb2O5, NiO, SiO2, SnO2, TiO2, MgO, ZnO et Al2O3, avec une précision inégalée. Chaque couche est déposée avec une homogénéité et une conformité exceptionnelles, ce qui est crucial pour les applications avancées en électronique.

Notre équipement ALD est conçu avec un bâti externe robuste, facilitant son intégration à la boîte à gants grâce à une bride en acier inoxydable de haute qualité. Cette conception modulaire permet une installation flexible : le système peut être monté latéralement, à l’arrière ou même au plancher de la boîte à gants. Cette polyvalence assure une compatibilité avec une large gamme de modèles de boîtes à gants, permettant ainsi aux chercheurs et aux ingénieurs d’optimiser leur espace de travail tout en garantissant une sécurité et une efficacité maximales.

L’ajout de cet équipement ALD à notre gamme de boîtes à gants renforce notre engagement à fournir des solutions complètes et de haute qualité pour les environnements de recherche et de production exigeants, où la pureté et la précision sont primordiales.

Avantages et applications du dépôt de couche atomique (ALD) dans divers secteurs

Le dépôt de couche atomique (ALD) est une technologie révolutionnaire qui a transformé divers secteurs industriels grâce à sa précision et son efficacité. Les avantages du processus ALD incluent une couverture uniforme des surfaces, une excellente conformité et un contrôle précis de l’épaisseur des films à l’échelle atomique. Ces caractéristiques rendent l’ALD indispensable dans des domaines comme la microélectronique, où il est utilisé pour fabriquer des transistors plus petits et plus performants.

Dans le domaine de l’énergie, notamment dans la fabrication de cellules photovoltaïques et de batteries lithium-ion, l’ALD contribue à améliorer l’efficacité et la durabilité des composants. La polyvalence de l’ALD s’étend également à des secteurs tels que la médecine et la biotechnologie, où il est utilisé pour développer des implants biomédicaux et des dispositifs de délivrance de médicaments à libération contrôlée. Ainsi, en adoptant l’ALD, les industries peuvent non seulement améliorer la qualité de leurs produits, mais aussi ouvrir la voie à des innovations révolutionnaires dans leurs domaines respectifs.

Jacomex, nos experts à votre service

Jacomex est spécialisé dans la conception et la fabrication de boîtes à gants, dotées d’épurateurs de gaz. Cet équipement permet de fabriquer, de caractériser et de tester les composants organiques, comme les cellules photovoltaïques (OPV), diodes électroluminescentes, les photodétecteurs, les semi-conducteurs organiques ou encore les biocapteurs.

Les ingénieurs de notre département recherche, développement et innovation, concentrent leurs efforts pour offrir des solutions toujours plus innovantes. Nos équipements pour la recherche et l’industrie sont entièrement développés et fabriqués à Lyon. Nous avons vendu et installé nos solutions dans plus de 60 pays et dans des domaines aussi variés que le nucléaire, la recherche, la pharma, le médical, la fabrication additive, l’énergie ou l’organique électronique.

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De nombreux clients issus de domaines d’activité variés ont fait confiance à Jacomex pour la conception et la fabrication de leurs boîtes à gants, isolateurs et systèmes de purification d’air.

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